使用專利光延遲調(diào)制器(PEM)技術(shù)，該系統(tǒng)提供最高規(guī)格雙折射靈敏度。此外，PEM提供高速操作，以50/60KHz的速度進(jìn)行調(diào)制。高靈敏度與高重復(fù)精度的特性，很容易實(shí)現(xiàn)亞納米級(jí)的雙折射延遲量測(cè)量。

 

便捷快速的操作而設(shè)計(jì)

 儀器自帶一個(gè)140x190mm（可定制其他尺寸）的光學(xué)樣品臺(tái)，可以通過手動(dòng)或自動(dòng)方式設(shè)定掃描區(qū)域。將樣本放置到樣品臺(tái)后，可以通過軟件的圖形界面進(jìn)行直觀的設(shè)置與測(cè)量。用戶界面軟件能夠顯示延遲值和快軸角度，并且能在掃描模式下提供二維的延遲分布信息。

應(yīng)用

 質(zhì)量控制                                 

低延遲的雙折射測(cè)量：

光滑玻璃

其他透明光學(xué)元件

激光晶體

 

光刻組件的質(zhì)量驗(yàn)證：

光掩膜

熔石英光學(xué)元件

氟化鈣鏡片毛坯和窗口
 

主要特點(diǎn)

在低延遲雙折射測(cè)量中可同時(shí)測(cè)量雙折射延遲幅度和角度

精確度可重復(fù)性

高速測(cè)量（60pps）

無需移動(dòng)被測(cè)樣品

可自由設(shè)定測(cè)量區(qū)間范圍

 

主要參數(shù)

調(diào)制頻率	50KHz/60KHz
波長	632.8nm（可定制）
信號(hào)處理方案	信號(hào)捕捉卡
測(cè)量單位	延遲量: nm  軸角度：°
掃描范圍	140*190mm （可定制其他范圍）
可測(cè)量的延遲范圍	0.005nm-158nm
延遲精度/重復(fù)性	0.001nm/±0.015nm
角度精度/重復(fù)性	0.01°/±0.07°
測(cè)量速度	60次/秒