半導體類外觀檢測設備--------VMM影像測量檢測設備
設備介紹
本設備是一種由高解析度CCD彩色鏡頭、連續變倍物鏡、彩色顯示器、視頻十字線顯示器、精密光柵尺、多功能數據處理器、數據測量軟件與高精密工作臺結構組成的高精度光學影像測量儀器。
應用領域
可檢測小尺寸平面玻璃缺陷檢測、藍寶石缺陷檢測、金屬或塑料零件表面缺陷檢測和尺寸測量等，適用于汽車配件，連接器，電子電器行業，醫療器械，通信，LCD和航空航天等行業測量。
設備特點
1、移動龍門結構，測量工件固定不動；
2、四軸CNC全自動閉環控制，全自動測量；
3、高精度大理石基座和橫梁，穩定可靠；
4、高精密光柵尺，分辨率0.1微米，精度高，穩定性好；
5、P級直線導軌、研磨級滾珠螺桿和伺服電機，確保機臺運動系統定位精度的穩定性；
6、高穩定性高清彩色工業相機，滿足清晰觀察和穩定測量的需求；
7、6.5X連續自動變倍鏡頭，準確自動變倍，一次像素校正即可；
8、程控式5環8區LED表面光源、透射平行LED輪廓光源系統；
9、標配天梭全自動影像測量軟件，功能強大，簡單易用；
規格參數
X-Y-Z軸行程（mm）： 500-400-200mm
X/Y/Z3軸光柵尺（mm）： 開放式光柵尺，分辨率：0.0001mm
導向方式 ： 高精密直線導軌，雙軌雙滑塊導向
操作方式： 鼠標操作，編程自動檢測
測量精度 XY軸：≤2+L/200(μm)；Z軸：≤3+L/200(μm)
重復精度 ： 2μm
視頻系統 ： 1/2"彩色CCD相機；6.5X自動變倍鏡頭
光源 ： LED平行輪廓光源+5環8區0~255級連續可調
軟件系統 ： 標配天梭全自動影像測量軟件
工作環境 ： 溫度20℃±2℃，溫度變化<2℃/hr,濕度30~80%,振動<0.002g,低于15Hz
尺寸： 1400*1300*1800mm
重量 ： 1200KG
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