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    十萬級無塵車間

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產品詳情

 

十萬級無塵車間

 

無塵車間凈化工程之定義為將一定空間范圍內之空氣中的微塵粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將室內之溫濕度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給于特別設計之密閉空間。
無塵車間凈化工程亦名無塵室或清凈室,目前已是半導體、精密制造、液晶制造、光學制造、線路板制造和生物化學、醫藥、食品制造等行業不可或缺的重要設施。近幾年來,由于技術之創新發展,對于產品的高精密度化、細小型化之需求更為迫切,如超大型積體電路之研究制造,已成為世界各國在科技發展上極為重視的項目。
無塵車間凈化工程一般包括:
1
、 潔凈生產區
2
、 潔凈輔助間(包括人員凈化用房、物料凈化用室和部分生活用室等)
3
、 管理區(包括辦公、值班、管理和休息等)
4
、 設備區(包括凈化空調系統應用、電氣用房、高純水和高純氣用房、冷熱設備用房)
無塵車間凈化工程凈化原理
氣流→初效凈化→空調→中效凈化→風機送風→管道→高效凈化風口→吹入房間→帶走塵埃細菌
等顆粒 → 回風百葉窗→初效凈化 重復以上過程,即可達到凈化目的。
無塵車間凈化工程凈化參數
換氣次數:100000級≥15次;10000級≥20次;1000≥30次。壓差:主車間對相鄰房間≥5Pa
平均風速:10級、100級0.3-0.5m/s;溫度 冬季>16℃;夏季 <26℃;波動±2℃。
溫度45-65%;GMP粉劑車間濕度在50%左右為宜;電子車間濕度略高以免產生靜電。
噪聲≤65dB(A);新風補充量是總送風量的10%-30%;照度300LX。
 

 

 

 

ISO14644-1(國際標準)

空氣潔凈度等級(N)

大于或等于所標粒徑的粒子zui大濃度限值(個/每立方米空氣粒子

0.1um

0.2um

0.3um

0.5um

1.0um

5.0um

ISO CIass1

           10

        2

 

 

 

 

ISO CIass2

          100

       24

      10

           4

ISO CIass3

        1,000

      237

     102

          35

          8

ISO CIass4

       10,000

    2,370

   1,020

         352

         83

ISO CIass5

      100,000

   23,700

 10,200

       3,520

        832

      29

ISO CIass6

    1,000,000

 237,000

 102,000

      35,200

      8,320

     293

ISO CIass7

 

 

 

     352,000

     83,200

   2,930

ISO CIass8

 

 

 

   3,520,000

    832,000

 29,300

ISO CIass9

 

 

 

 35,200,000

 8,320,000

 293,000

注:由于涉及測量過程的不確定性,故要求用不超過三個有效的濃度數字來確定等級水平

 

 

 

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