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超純水是水分子純度極高的水，通俗點講就是只含有水分子(H2O)，不含有其它任何雜質。主要體現是具有導電性能的離子基本不含，其水質電阻值為18.2 MΩ•cm @25℃;另一方面是水體中其它不導電的雜質幾乎不含，其中的雜質的含量小于0.01mg/L(TOC：<20ppb 有機物：<0.01AU@254nm 殘留固體：<200ppb )。這種水中除了水分子(H20)外，幾乎沒有什么雜質，更沒有細菌、病毒、含氯二惡英等有機物，當然也沒有人體所需的礦物質微量元素，超純水無硬度，口感較甜，又常稱為軟水，可直接飲用，也可煮沸飲用。超純水,是一般工藝很難達到的程度，如水的電阻率大于18MΩ*cm，接近于18.3MΩ*cm則稱為超純水。
目前醫用超純水設備常用純化水質的工藝方法有蒸餾法、反滲透法、離子交換法、過濾法、吸附法、紫外氧化法等。超純水設備一般可以將水的純化過程大致分為4大步，預處理(初級凈化)、反滲透(生產出純水)，離子交換(可生產出18.2MΩ.cm超純水)和終端處理(生產出符合特殊要求的超純水)。常用制取工藝手段：預處理+二級RO+UV+EDI+拋光+微孔。
超純水處理設備顧名思義主要采用先進的EDI技術和反滲透技術相結合，可以有效去除掉原水中的懸浮物、膠體、微粒等雜質，從而達到很好的凈化水目的。該設備的凈化不需要添加任何化學藥劑，因此不用擔心水質的二次污染問題。
此外，超純水設備還有著很好的性能優勢:
1.可連續，穩定地生產高品質純水，無需因樹脂再生而停機;
2.無污染物排放，既環保又省去了廢液處理的投資;
3.設備結構緊湊，占地面積小，節省空間，同時還具有節能優點;
4.脫鹽率大于99.9%，效率遠遠高于兩級反滲透和單純的離子交換。
