EPMA電子探針

電子探針介紹

     電子探針（EPMA）和掃描電子顯微鏡（SEM）是用來(lái)對(duì)固體樣品進(jìn)行表面微區(qū)形貌觀察和成分分析的儀器，是研究地球與行星科學(xué)最基礎(chǔ)、使用最廣泛的原位微束分析技術(shù)，廣泛應(yīng)用于礦物學(xué)、巖石學(xué)、地球化學(xué)、構(gòu)造地質(zhì)學(xué)、比較行星學(xué)、材料學(xué)、環(huán)境科學(xué)等生產(chǎn)、研究領(lǐng)域。

　  電子探針和掃描電鏡是利用聚焦電子束與固體樣品表面微區(qū)（微米至亞微米尺度）相互作用，產(chǎn)生二次電子、背散射電子、陰極熒光、特征X射線、連續(xù)X射線等信息，進(jìn)行樣品表面形貌觀察和成分分析，從而了解樣品表面形貌、礦物成分、礦物結(jié)構(gòu)、礦物相關(guān)系等。電子探針和掃描電鏡的功能有重合。其中電子探針側(cè)重樣品成分定量分析，主要通過(guò)能譜儀（EDS）或波譜儀（WDS）分析與樣品表面組成元素有關(guān)的特征X射線波長(zhǎng)及其強(qiáng)度，與標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)對(duì)比，確定樣品的元素組成及含量，其中掃描電鏡功能主要協(xié)助成分信息與樣品表面形貌信息匹配。掃描電鏡側(cè)重樣品表面形貌觀察，增加能譜儀（EDS）或波譜儀（WDS）可以進(jìn)行一定的定性定量成分分析。

應(yīng)用領(lǐng)域

（1）二次電子圖像觀察（SEI）

（2）背散射圖像觀察（BSE）

（3）陰極發(fā)光圖像觀察（CL）

（4）常見(jiàn)造巖礦物（包括氧化物、硫化物、硅酸鹽、磷酸鹽、硫酸鹽、碳酸鹽等礦物）主量元素含量分析

（5）硅酸鹽玻璃主要元素含量分析

（6）揮發(fā)組分（如F、Cl等）含量分析

（7）稀土礦物成分分析

（8）造巖礦物中主要元素的面掃描分析，如橄欖石中Mg、Fe、Ni等元素

（9）特定礦物中重要微量元素面掃描分析，如橄欖石中P等。

電子探針下特點(diǎn)

（1）樣品制備簡(jiǎn)單

（2）無(wú)損

（3）原位微區(qū)分析，分析區(qū)域直徑可以小于1 μm

（4）分析元素范圍廣，可以測(cè)試Be – U之間的元素

（5）除了單點(diǎn)定量分析外，可以進(jìn)行定性或定量的線掃描和面掃描分析

（6）應(yīng)用范圍廣，可測(cè)試各類(lèi)固態(tài)樣品

（7）分析快捷且成本較低。

現(xiàn)行標(biāo)準(zhǔn)

結(jié)果示例